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在半导体生产过程中，精确的温度控制至关重要。过高或过低的温度都可能对晶圆产生不良影响，导致性能下降，甚至损坏。因此，需要使用高精度、高稳定性的温度测量设备来进行实时监测和调控。
晶圆测温系统能够满足这些要求。它能够提供精确、稳定的温度测量，从而确保生产过程的精确控制。通过实时监测和调整温度，可以提高生产效率，降低生产成本，提高产品质量，并延长晶圆的寿命。
晶圆测温系统
高低温探针台晶圆测温在半导体行业中有广泛的应用。以下是一些主要的应用领域：
1、制程控制：在半导体制造过程中，每一步操作都需要在特定的温度下进行。高低温探针台上进行晶圆测温可以实时监测并控制这个过程，确保制程的准确性和稳定性。
2、设备校准：为了确保设备的精度和稳定性，需要定期对其进行校准。晶圆测温系统可以提供一个标准的温度环境，用于校准设备。
3、产品质量控制：通过实时监测晶圆的温度，可以及时发现并解决问题，从而提高产品质量。
4、研发：在研发过程中，晶圆测温系统可以帮助科研人员观察和分析晶圆在不同温度下的行为，从而促进新产品的设计和改进。
智测电子TC-WAFER晶圆测温系统应用于高低温晶圆探针台，测量精度可达mk级别，可以多区测量晶圆特定位置的温度真实值，也可以精准描绘晶圆整体的温度分布情况，还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化，了解升温、降温以及恒温过程中设备的有效性。
还提供整个实验室过程的有线温度计量，保证温度传感器的长期测量精度。